问答题MEMS的定义是什么？
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MEMS的定义是什么？
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MEMS的英文名称是() A.MECHANICAL-ELECTRO-MICROSYSTEMSB.MICRO-ELECTRO-MECHANICALSYSTEMSC.MICRO-MECHANICAL-ELECTROSYSTEMSD.ELECTRO-MICRO-MECHANICALSYSTEMS
角位移传感器就是用MEMS微型加速度传感器、MEMS微型角速度传感器以及数字化信号调理电路设计角位移测量模块。通过对游梁角位移的测量实现了光杆位移的实时监测，同步测量载荷即可得到光杆示功图。
MEMS的英文名称是（）A、MECHANICAL-ELECTRO-MICROSYSTEMSB、MICRO-ELECTRO-MECHANICALSYSTEMSC、MICRO-MECHANICAL-ELECTROSYSTEMSD、ELECTRO-MICRO-MECHANICALSYSTEMS
问答题什么是MEMS？它主要包括哪几个部分？并简述各个部分的功能。