下列5个能量选项中,哪些可能在光刻加工的曝光工艺中应用() A.电子束B.离子束C.激光束D.超声波E.等离子体
电子束焊在实际应用中以真空电子束焊接居多。A对B错
奥氏体不锈钢的电子束焊接接头抗晶间腐蚀的能力较弱。A对B错
光致抗蚀剂在曝光前对某些溶剂是可溶的，曝光后硬化成不可溶解的物质，这一类抗蚀剂称为负性光致抗蚀剂，由此组成的光刻胶称为负性胶。（）
电子束百分深度剂量曲线的高剂量“坪区”的形成原因是（）A、电子束无明显建成效应B、电子束的皮肤剂量较高C、电子束的照射范围平坦D、电子束射程较短E、电子束容易被散射
电子束旋转照射时，X射线治疗准直器的几何尺寸要（）电子束照射野的大小。A、小于B、大于C、等于D、接近E、小于等于
高功率密度的电子束加工适于（）A、钢板上打孔B、工件表面合金化C、电子束曝光D、工件高频热处理
按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。A、光学曝光B、离子束曝光C、接近式曝光D、电子束曝光E、投影式曝光
描述照射对电子束百分深度剂量的影响，正确的是（）A、较高能量的电子束，照射野对百分深度剂量无影响B、较低能量的电子束，照射野对百分深度剂量无影响C、较低能量的电子束，较大照射野对百分深度剂量影响较大D、较高能量的电子束，较大照射野对百分深度剂量影响较大E、较高能量的电子束，较小照射野对百分深度剂量影响较大
电子束加工技术主要应用电子束焊接、（）、电子束表面改性、电子束固化。
光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）A、电子束曝光技术B、离子束曝光技术C、X射线曝光技术
真空电子束焊包括（）A、高真空电子束焊B、低真空电了束焊C、非真空电子束焊D、高压电子束焊
单选题高功率密度的电子束加工适于（）。A钢板上打孔B工件表面合金化C电子束曝光D工件高频热处理
判断题离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。A对B错
判断题在紫外光曝光、X射线曝光、电子束曝光技术中可实现直写式曝光不需要掩模版的是X射线曝光技术。A对B错
判断题离子束加工和电子束加工类似，主要是利用高速运动的离子撞击工件表面转换成热能来蚀除金属。A对B错
判断题奥氏体不锈钢的电子束焊接接头抗晶间腐蚀的能力较弱。A对B错
单选题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。A电子束曝光技术B离子束曝光技术CX射线曝光技术
判断题电子束加工是利用电能使电子束加速撞击到工件表面又转换成热能来蚀除材料的。A对B错
判断题离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。A对B错