高功率密度的电子束加工适于（）A、钢板上打孔B、工件表面合金化C、电子束曝光D、工件高频热处理
按曝光的光源分类，曝光可以分为（）。A、光学曝光B、离子束曝光C、接近式曝光D、电子束曝光E、投影式曝光
简述电子束、离子束、激光束加工技术的工作原理和适用的加工范围？各具有哪些特点？
光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）A、电子束曝光技术B、离子束曝光技术C、X射线曝光技术
单选题高功率密度的电子束加工适于（）。A钢板上打孔B工件表面合金化C电子束曝光D工件高频热处理
判断题在紫外光曝光、X射线曝光、电子束曝光技术中可实现直写式曝光不需要掩模版的是X射线曝光技术。A对B错
问答题何谓电子束加工？试说明电子束加工的分类，特点及应用范围。
填空题电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束（），因而可获得更加精细的图样。
单选题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）。A电子束曝光技术B离子束曝光技术CX射线曝光技术