填空题常温条件下,铜的腐蚀速率()。但随着环境温度升高,溶液浓度增加以及溶液中存在溶解氧时,对铜及其合金的腐蚀速率会()。
填空题
常温条件下,铜的腐蚀速率()。但随着环境温度升高,溶液浓度增加以及溶液中存在溶解氧时,对铜及其合金的腐蚀速率会()。
参考解析
解析:
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问答题薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率非常慢,因此常作为硅片定域KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜,而PECVD氮化硅薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率快。怎样才能用已淀积的PECVD氮化硅薄膜作为KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜?
填空题循环水场控制铜腐蚀速率≤()mm/a。