3、以下哪种不是预制棒制备工艺?A.等离子体增强化学气相沉积法(PCVD);B.改进的化学气相沉积法(MCVD);C.低压化学气相沉积法(LPCVD);D.气相轴向沉积法(VAD)。
3、以下哪种不是预制棒制备工艺?
A.等离子体增强化学气相沉积法(PCVD);
B.改进的化学气相沉积法(MCVD);
C.低压化学气相沉积法(LPCVD);
D.气相轴向沉积法(VAD)。
参考答案和解析
低压化学气相沉积法( LPCVD );
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