问答题简述直拉法生长单晶硅的工艺过程,并说明每个步骤各自有什么作用?

问答题
简述直拉法生长单晶硅的工艺过程,并说明每个步骤各自有什么作用?

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硅提纯及制备工艺流程正确的是()。 A、石英砂-西门子法多晶硅-金属硅-直拉单晶硅B、金属硅-石英砂-西门子法多晶硅-直拉单晶硅C、石英砂-金属硅-西门子法多晶硅-直拉单晶硅D、西门子法多晶硅-石英砂-金属硅-直拉单晶硅

c-z法生产单晶硅棒工艺中,控制位错产生的工序是()。 A.上述说法均不对B.缩颈生长与尾部生长C.等径生长D.放肩生长

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