机器大清洗后应进行（）和（）处理，才能正常生产。

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SiO2料面的哪些因素对镀膜曲线有影响？（）A、平整度B、高度C、洁净度D、硬度
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坩埚挡板装偏了会导致漏料问题。
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TiO2的充氧量过多会导致脱膜问题。
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电子枪“FIL”灯变红，故障原因是（）。A、电子枪高压线路故障B、真空室底下门没有关好C、电子枪灯丝有问题D、电子枪电流回路故障
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