容栅式电容位移传感器是在面积型电容位移传感器的基础上发展而成的一种新型电容位移传感器。可分为 ______ 和 ______ 两种。
容栅式电容位移传感器是在面积型电容位移传感器的基础上发展而成的一种新型电容位移传感器。可分为 ______ 和 ______ 两种。
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3、下列哪一种传感器适合微小位移测量?()A.变面积式电容传感器B.变极距式电容传感器C.变介质式电容传感器D.螺管式自感传感器