多选题下列属于OECO电池片结构的特点有（）A通过对电池片表面进行机械加工，可以得到深度约有30um的垂直的沟，机械加工后，为了消除损伤，进行了蚀刻，也有再进行纹理化的B在电池片表面的n+层上，形成很薄的氧化膜，然后再在与其上面垂直的沟的侧面制备铝电极，C因表面电极而引起的发电面积损失非常小，减反射膜性能好，电极和硅界面状态良好，可以得到高的转换效率D为了钝化和防止反射，用PECVD法形成SiN膜

多选题
下列属于OECO电池片结构的特点有（）
A

通过对电池片表面进行机械加工，可以得到深度约有30um的垂直的沟，机械加工后，为了消除损伤，进行了蚀刻，也有再进行纹理化的

B

在电池片表面的n+层上，形成很薄的氧化膜，然后再在与其上面垂直的沟的侧面制备铝电极，

C

因表面电极而引起的发电面积损失非常小，减反射膜性能好，电极和硅界面状态良好，可以得到高的转换效率

D

为了钝化和防止反射，用PECVD法形成SiN膜

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