多选题组成MEMS的部件有（）A微传感器B微执行器C信号处理和控制电路D电源

多选题
组成MEMS的部件有（）
A

微传感器

B

微执行器

C

信号处理和控制电路

D

电源

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组成MEMS的部件有() A.微传感器B.微执行器C.信号处理和控制电路D.电源
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