氮化硅的性能不包括()A、抗氧化性B、抗渣性C、抗热震性D、提高炮泥的磨蚀能力
氮化硅的性能不包括()
- A、抗氧化性
- B、抗渣性
- C、抗热震性
- D、提高炮泥的磨蚀能力
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下列关于耐高温新型陶瓷——氮化硅(Si3N4)的叙述,正确的是A.氮化硅中Si、N两种元素的质量比为4:3B.氮化硅中氮元素的质量分数为60%C.14g氮化硅中含硅8.4gD.氮化硅的相对分子质量为l44
问答题薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率非常慢,因此常作为硅片定域KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜,而PECVD氮化硅薄膜在KOH水溶液中的腐蚀速率快。怎样才能用已淀积的PECVD氮化硅薄膜作为KOH各向异性腐蚀的掩蔽膜?
填空题等离子增强反应沉积中,由于等离子体中()、()和()相互碰撞,可以大大降低沉积温度,例如硅烷和氨气的反应在通常条件下,约在850℃左右反应并沉积氮化硅,但在等离子体增强反应的条件下,只需在350℃左右就可以生成氮化硅。
问答题叙述氮化硅的湿法化学去除工艺。