多选题以下哪些工艺应用的原子扩散的理论（）A渗氮B渗碳C硅晶片掺杂D提拉单晶硅
多选题
以下哪些工艺应用的原子扩散的理论（）
A
渗氮
B
渗碳
C
硅晶片掺杂
D
提拉单晶硅
参考解析
解析：
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怎样理解扩散原子对基体造成的晶格畸变越大，扩散则越容易。（）A、扩散原子具有更低的能量，需要的扩散激活能变大，扩散系数变小，所以扩散容易；B、扩散原子具有更高的能量，需要的扩散激活能变小，扩散系数变大，所以扩散容易；C、基体原子具有更高的能量，造成的势垒变小，扩散系数变小，所以扩散容易。
单选题怎样理解扩散原子对基体造成的晶格畸变越大，扩散则越容易。（）A扩散原子具有更低的能量，需要的扩散激活能变大，扩散系数变小，所以扩散容易；B扩散原子具有更高的能量，需要的扩散激活能变小，扩散系数变大，所以扩散容易；C基体原子具有更高的能量，造成的势垒变小，扩散系数变小，所以扩散容易。
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