产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为（）。

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简述一下镀金属膜注意事项？
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充氧不稳会导致以下哪些结果（）。A、整罩分光特性超差B、均匀性不好C、表面不好D、膜层牢固度不好
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为使蒸发材料分子从蒸发源到达基板时基本不和残余气体分子发生碰撞，故真空室内真空度要到达10-3Pa以下，以满足（）条件A、气体分子平均自由程小于蒸发距离.B、气体分子平均自由程远大于蒸发距离C、气体分子平均自由程等于蒸发距离。D、气体分子平均自由程的平方大于蒸发距离。
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刚开机时为什么要预热扩散泵油？在什么情况下扩散泵油会被氧化？
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下列（）符号代表X方向的光斑位置。A、XPB、XSC、YPD、EB
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