离子注入后为什么要进行退火?

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光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么?

从离子源引出的是:()A、原子束B、分子束C、中子束D、离子束

例举出芯片厂中6个不同的生产区域并对每一个生产区域做简单描述。

常用胶粘剂有热固性树脂、热塑性树脂和橡胶型胶粘剂3大类。半导体器件的粘封工艺一般选用()。A、热塑性树脂B、热固性或橡胶型胶粘剂

例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。