简述辉光离子炉的构造。

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PECVD就是利用辉光放电等离子体对沉积过程施加影响的CVD技术。

国际上统一规定,工业用射频等离子体辉光放电的射频频率为()MHz。

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我们在”辉光盘“上看到的美丽的辉光与原子中电子能级跃迁有关。

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