下面几种方法中哪种可以测量铝氧化膜厚度?() A、热震法B、金相测厚法C、计时液流法D、涡流测厚仪
下面几种方法中哪种可以测量铝氧化膜厚度?()
A、热震法
B、金相测厚法
C、计时液流法
D、涡流测厚仪
相关考题:
IC采用铝互连系统时,下列哪种方法可以避免Al-Si的尖楔现象:A.在淀积的铝膜中掺入约1%Cu;B.在淀积的铝膜中掺入约1%Si;C.在淀积铝之前先淀积一薄层TiN薄膜;D.在铝膜表面覆盖Si3N4。
55、几种测量二氧化硅厚度的方法中,最精确的是: 。