问答题半导体工艺中常用的三种CVD反应器类型
问答题
半导体工艺中常用的三种CVD反应器类型
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根据工艺流程和催化剂的不同,反应器分为()等类型。A、固定床反应器、轴向反应器、热壁反应器B、移动床反应器、径向反应器、轴向反应器C、流动床反应器、热壁反应器、轴向反应器D、固定床反应器、移动床反应器、流化床反应器
问答题简述CVD工艺的的工艺流程